电子枪的真空度高于0.0133Pa而焊接室真空度为1.33~66.65Pa。低真空电子束焊机（partial vacuum electron beam welder）是指电子枪和焊接室分隔成两部分。低真空电子束焊是在10-1～10Pa的压强下进行的。压强为4Pa时束流密度及其相应的功率密度的最大值与高真空的最大值相差很小。因此，低真空电子束焊也具有束流密度和功率密度高的特点。由于只需抽到低真空，明显地缩短了抽真空时间，提高了生产率，适用于批量大的零件的焊接和在生产线上使用。例如：变速器组合齿轮多采用低真空电子束焊接。
