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在 CSEAC 2025 第十三届半导体设备与核心部件及材料展上,中微半导体设备(上海)股份有限公司推出了六款全新的半导体制造设备,涵盖刻蚀、原子层沉积(ALD)和外延工艺等多个关键环节。 其中,新一代极高深宽比等离子体刻蚀设备 Prim...
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