在 CSEAC 2025 第十三届半导体设备与核心部件及材料展上，中微半导体设备（上海）股份有限公司推出了六款全新的半导体制造设备，涵盖刻蚀、原子层沉积（ALD）和外延工艺等多个关键环节。 其中，新一代极高深宽比等离子体刻蚀设备 Prim...