电容传感器广泛用于压力、位移、加速度、厚度、振动、液位等测量中。电容式传感器具有结构简单、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态响应特性好等优点。典型的电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时，薄膜会发生一定的变形，因此上下电极...