5nm光刻机的原理（光刻机工作的原理介绍）光刻机可以分为用于生产芯片、用于封装和用于LED制造按照光源和发展前后，依次可分为紫外光源（UV）、深紫外光源(DUV)、极紫外光源（EUV），光源的波长影.....